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267 Made in 种花

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们现在获取光刻镜头的最优解!”

“大家请看,这台设备由离子源、萃取栅系统和反应腔3个主要部分组成。离子源通入氢气或其他稀有气体产生低温等离子体,从而提供低能量离子。”

“何总工,冒昧问下,我们如何的获取离子?”

“可以通过电子回旋微波共振等离子体技术来获取较高密度离子,这个技术我早就想好了,等下细说。”

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